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사업화유망기술

사업화유망기술

  • 패턴마스크

    세정용액을 사용하여 EUV 리소그래피 공정에 사용되는 EUV마스크 상에 형성된 요염물 제거 및 손상 최소화
    보유기관 한양대학교 산학협력단
    기술완성도 TRL 4
    거래조건 양도/실시권/산학협력
    요약 염기성 용액과 유기 용매를 포함하는 EUV 마스크 세정용액 및 세정방법

제품 상세정보

05_한양대학교_패턴마스크, 극자외선 리소그래피용 펠리클 기술_page-0001.jpg